如何設計及建造高真空系統

如何設計及建造高真空系統 , 從 Agilent Ion Pump 離子幫浦 的選擇 , Turbo Pump 分子渦輪幫浦的選擇 ,分子渦輪幫浦的抽氣量 及壓縮比(如果真空要達1.0e-6 Torr 以下)尤其是需要考量對氦氣及氫氣的壓縮比, 以及法蘭的選擇 

從真空腔體, 高真空幫浦,真空計 , Primary Pump, 閥門選擇及控制, 如上附件